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◆在CZ直拉單晶硅石墨熱場中通常會用到高純度等靜壓石墨:如保溫罩、加熱器、三瓣石墨坩堝、堝托、導流筒、石墨電極、電極螺母等。

◆用于等離子體增強化學氣相沉積法使用的PECVD石墨舟片、電極座、石墨螺絲、石墨螺帽。

◆用于硅外延設備,表面SiC涂層的立式、盤式、單片式石墨基座,MOCVD制程用sic涂層石墨基座。

◆離子注入用石墨電極、襯塊、石墨屏蔽罩等配件,等離子刻蝕用石墨電極,半導體封裝制程用模具、高等級模板、治具。

◆感應加熱鍺氧化物、區熔半導體材料、熔化高純度金屬的石墨坩堝、石墨舟皿及其配件,直拉鍺與化合物單晶的高純石墨加熱器、保溫罩等。

◆藍寶石HEM法生產中使用到的高純度石墨加熱器、石墨電極。


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